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無(wú)塵室的溫濕度控制的具體措施有哪些？

2021.05.19 1359

       無(wú)塵室的溫濕度主要是根據(jù)客戶(hù)的加工工藝要求而定，在滿(mǎn)足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于對(duì)空氣清潔度的要求越來(lái)越高，工藝要求溫度和濕度越來(lái)越高。

       無(wú)塵室的溫濕度主要是根據(jù)客戶(hù)的加工工藝要求而定，在滿(mǎn)足加工工藝要求的情況下，更要考慮到人的舒服。由于空氣清潔度要求的提高，工藝過(guò)程對(duì)溫度和濕度的要求越來(lái)越高，需要達(dá)到一定的溫度和濕度等級(jí)。比如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，對(duì)作為掩膜材料的硅片和玻璃的熱膨脹系數(shù)的要求差別越來(lái)越小。硅片直徑100um，溫度升高1度，造成0.24um線(xiàn)性膨脹，因此一定要有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般要低，因?yàn)槿顺龊购?，產(chǎn)品會(huì)受到污染，尤其是半導(dǎo)體車(chē)間怕鈉，這車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度。

       潮濕會(huì)引起更多的問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻管壁會(huì)結(jié)露，如果準(zhǔn)確設(shè)備或線(xiàn)路發(fā)生故障，會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度50%時(shí)容易發(fā)生銹蝕。無(wú)塵室的溫濕度控制具體有哪些措施？

       但是，對(duì)大多數(shù)清潔空間來(lái)說(shuō)，為了防止外界污染的侵入，必使內(nèi)部壓力(靜壓力)高于外部壓力。維持壓差應(yīng)一般符合下列原則：

1、在潔凈度等級(jí)高的場(chǎng)所，壓力比在鄰近的潔凈度等級(jí)低的場(chǎng)所高。

2、兩間相通的潔凈室之間的門(mén)應(yīng)向高潔凈度房間敞開(kāi)。

3、潔凈室的壓力比非潔凈室高。

       壓差的維持依賴(lài)于新風(fēng)量，新風(fēng)量可以補(bǔ)償在此壓差下從空隙中漏出的風(fēng)量。因此，壓差的物理含義是阻力，即通過(guò)無(wú)塵室各種縫隙的漏風(fēng)(或滲漏)。

       對(duì)亂流潔凈室由于主要依靠空氣的稀釋作用減輕室內(nèi)污染程度，因此主要采用換氣次數(shù)概念，而不是直接采用流速概念，但對(duì)室內(nèi)氣流流速也有以下要求：

1、送風(fēng)口出口氣流速度不能太大，與單純的空調(diào)房相比，需要較快的速度衰減和較大的擴(kuò)散角度。

2、吹過(guò)水平面的氣流速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不應(yīng)過(guò)大，以免使表面顆粒重新進(jìn)入到氣流中，造成再污染，這種速度一般不應(yīng)過(guò)大，0.2m/s。